هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم
| هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم | |
|---|---|
 | |
 | |
| الاسم النظامي (IUPAC) | |
N,N,N-Trimethylmethanaminium hydroxide | |
| أسماء أخرى | |
tetramethylammonium hydroxide | |
| المعرفات | |
| الاختصارات | TMAH |
| رقم CAS | |
| CAS | 75-59-2 |
| بوب كيم | 60966 |
مواصفات الإدخال النصي المبسط للجزيئات
| |
| الخواص | |
| الصيغة الجزيئية | C4H13NO |
| الكتلة المولية | 91.15 غ/مول |
| المظهر | بلورات إبرية عديمة اللون |
| الكثافة | 1.015 غ/سم3 |
| نقطة الانصهار | 67 °س |
| الذوبانية في الماء | 70 غ/100 مل ماء |
| المخاطر | |
| رمز الخطر وفق GHS |     |
| وصف الخطر وفق GHS | خطر |
| في حال عدم ورود غير ذلك فإن البيانات الواردة أعلاه معطاة بالحالة القياسية (عند 25 °س و 100 كيلوباسكال) | |
تعديل مصدري - تعديل  | |
هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم ( اختصاراً TMAH ) هو كاتيون أمونيوم رابعي يمكن كتابة صيغته على الشكل −N(CH3)4]+OH، ويوجد على هيئة صلب بلوري عديم اللون.
التحضير[عدل]
يحضر هذا الملح من تفاعل كلوريد رباعي ميثيل الأمونيوم مع هيدروكسيد البوتاسيوم في الميثانول الجاف.
الخواص[عدل]
يوجد المركب في الشروط القياسية على هيئة بلورات إبرية عديمة اللون، وهي ذات انحلالية جيدة جداً في الماء. وهو عادة ما يستخدم على هيئة محلول. لهذا الملح خواص قاعدية قوية.[2] ويؤدي تسخينه إلى الحصول على ثلاثي ميثيل الأمين والميثانول.
الاستخدامات[عدل]
يستخدم هذا المركب في مجال نقش السيليكون في مجال التصنيع الدقيق لأشباه الموصلات.[3]
طالع أيضاً[عدل]
المراجع[عدل]
- ^ أ ب ت TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE (بالإنجليزية), QID:Q278487
- ^ Stewart، R.؛ O'Donnell، J. P. (1964). "Strongly basic systems: III.The H_ function for various solvent systems". Can. J. Chem. ج. 42 ع. 7: 1681–1693. DOI:10.1139/v64-251.
- ^ Thong، J. T. L.؛ Choi، W. K.؛ Chong، C. W. (1997). "TMAH etching of silicon and the interaction of etching parameters". Sensors and Actuators A: Physical. ج. 63 ع. 3: 243–249. DOI:10.1016/S0924-4247(97)80511-0.
| هيدروكسيد رباعي ميثيل الأمونيوم في المشاريع الشقيقة: | |
| |
